나인테크, 반도체 식각 공정 '포커스링' 개발 국책과제 사업자 선정

[아이뉴스24 김종성 기자] 2차전지와 디스플레이 장비 전문기업 주식회사 나인테크는 '2021년도 중소기업기술혁신개발사업(중소기업부·소부장일반)'의 주관연구개발기관으로 선정됐다고 27일 밝혔다.

과제명은 '반도체 식각 장비의 MTBC 향상을 위한 내식각성 부품(Focus ring) 제조 기술 개발'로 총 개발 기간은 2년이다.

나인테크 관계자는 "당사가 맡은 이번 과제는 반도체 식각 공정에 사용되는 반도체 부품인 포커스링(Focus ring)의 개발로, 해당 부품은 실리콘 웨이퍼를 고정시키고, 균일한 플라즈마 밀도 유지와 웨이퍼 측면(Edge)의 오염을 방지하는 역할을 수행한다"고 설명했다.

이어 "포커스링은 특히 하이 파워 플라즈마(High Power Plasma)의 극한 환경에 노출돼 쉽게 식각되기 때문에 주기적인 교체가 필요한 소모성 부품"이라며 "제품 개발이 완료될 경우 꾸준한 매출 증대에 기여할 수 있을 것으로 기대한다"고 강조했다.

이 관계자는 또 "더 나아가 이번 과제 수행을 통해 포커스링의 본격적인 사업화가 이뤄진다면 반도체 부품 시장의 수입의존도를 낮추고 전문 인력을 양성하는 등 국내 반도체 부품 시장의 경쟁력을 높일 것으로 기대된다"고 말했다.

나인테크는 디스플레이 제조장비업으로 시작해 2차전지 장비 시장으로 사업영역을 확대했다. 이번 국책과제 선정으로 회사는 반도체 분야의 부품 시장까지 그 영역을 넓힐 수 있을 것으로 기대하고 있다.

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