12인치 반도체 테스트베드 공식서비스 개시


나노종합기술원, ArF 이머전스캐너 등 10종 장비 구축 완료

나노종합기술원 12인치 테스트베드 1층 청정실(ArF Immersion Scanner와 Track 장비)에서 연구원이 실험을 진행하고 있다. [사진=나노종기원]

[아이뉴스24 최상국 기자] 일본의 반도체 핵심소재 수출규제 이후 국내 기업의 국산화를 지원하기 위해 구축을 시작한 12인치 반도체 테스트베드가 완성돼 공식 서비스를 시작한다.

16일 과학기술정보통신부는 국내 최초로 나노종합기술원(원장 이조원)에 12인치 반도체 테스트베드 구축을 완료하고, 3월 17일부터 국내 산·학·연 이용자를 대상으로 서비스를 공식 개시한다고 밝혔다.

반도체 생산용 소재·부품은 2019년 7월 일본의 수출규제에 따라 우리나라에 소재·부품·장비 기술자립화에 대한 경각심을 불러일으킨 대표품목이다.

국내 반도체 소부장 기업들은 대기업 생산환경과 유사한 12인치 테스트베드가 국내에 없어, 많은 비용과 시간을 들여 해외 테스트베드를 이용하거나, 나노종기원의 8인치 장비를 활용한 기초평가 수준에서 만족할 수밖에 없는 상황이었다.

이러한 문제를 해결하기 위해 과기정통부는 2019년 8월 나노종기원을 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정하고 총 450억원의 긴급예산을 편성, 청정실과 핵심장비 구축, 장비안정화 작업을 추진해 왔다.

구축 완료된 12인치 테스트베드에는 포토공정용 ArF(불화아르곤) 이머전 스캐너를 비롯해 식각, 박막, 계측 등에 필요한 10종의 장비가 구축됐다. 나노종기원은 이를 바탕으로 소재 성능평가, 박막 및 패턴웨이퍼 제작 등의 서비스를 제공할 계획이다.

이조원 나노종기원장은 “현재 12인치 테스트베드는 40nm 패턴웨이퍼 제작이 가능한 인프라로, 반도체 핵심소재(감광제 등)와 장비개발을 집중 지원할 예정이며, 향후 20nm급 패턴웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축 및 공정기술 개발을 추진할 계획”이라고 밝혔다.

김봉수 과기정통부 기초원천연구정책관은 “반도체 산업은 국가 수출의 20%를 담당하는 핵심 주력산업으로, 대기업뿐만 아니라 다양한 소부장 중소기업들과 대학·출연연 연구자들이 협업하는 대규모 연구·산업 생태계를 갖추고 있는 분야”라며 “과기정통부는 앞으로 반도체 분야의 발전을 위해 기초·원천 연구지원과 병행해 수준 높은 인프라 지원을 위한 투자확대, 기능고도화 등의 노력을 지속적으로 추진하겠다”고 밝혔다.

/최상국 기자(skchoi@inews24.com)






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