KAIST 나노종합팹센터 시범서비스 개시

한국과학기술원(KAIST) 나노종합팹센터가 완공돼 본격적인 시범서비스에 들어간다.

KAIST 나노종합팹센터는 16일 오전 나노기술 선진국 진입을 위한 핵심인프라 구축사업으로 추진한 '나노종합팹센터'를 완공해 준공식을 갖는다고 15일 밝혔다.

이 나노종합팹센터는 2002년 나노종합팹구축사업단이 발족된 후 2004년 1월 센터착공에 들어가 지난 2004년 12월 팹시설을 완료하고 3개월에 걸친 장비설치 및 안정화작업을 거쳐 이번에 본격적인 서비스에 들어가게 됐다.

나노종합팹센터는 총 5천448평규모로 건축됐으며 팹동(클린룸), 설비동, 연구동 등으로 구성됐다. 시설건축에는 약 300억원이 투입됐다.

이 센터에는 2002년부터 오는 2011년까지 9년동안 2천900억원이 투자되며 현재까지 약 1천억원이 투자됐다. 앞으로도 약 2천억원이 추가투자된다.

나노종합팹센터에는 10nm이하의 초미세 패턴을 형성시킬 수 있는 전자빔(E-Beam)장비와 나노구조분석용 초미세 시편제작이 가능한 집속이온빔(FIB) 장치 등 원천기술, 나노공정, 나노소자 개발에 필요한 다양한 첨단장비 140여종을 갖추고 있다.

특히 나노반도체소자, MEMS, 나노바이오칩 제작공정이 모두 한곳에서 일괄적으로 이뤄져 나노관련 융합기술 개발에 경쟁력을 갖출 수 있을 것으로 기대된다.

나노종합팹센터측은 초기 아이디어 검증부터 8인치 웨이퍼를 이용한 시제품 제작도 가능해 모든 것을 지원할 수 있다고 설명했다.

이희철소장은 "나노팹센터 완공으로 21세기 신산업혁명 핵심 성장동력인 나노기술의 선진 5개국진입을 위한 기반이 마련됐다"면서 "앞으로 전문인력의 양성과 연구성과의 산업화 및 벤처창업 등을 통해 중추적인 역할을 해나가겠다"고 말했다.