주성엔지니어링, 세계 첫 'ALG 반도체 장비' 출하

[아이뉴스24 권서아 기자] 주성엔지니어링이 세계 최초로 개발한 'ALG(Atomic Layer Growth) 트랜지스터 풀 인테그레이션(Full Integration) 반도체 제조 장비'를 글로벌 반도체 기업에 공급하며 차세대 반도체 시장 공략에 나섰다.

주성엔지니어링은 18일 세계 최초 ALG 트랜지스터 통합 장비를 출하했다고 밝혔다. 회사는 해당 장비가 고집적 수직 적층 구조의 차세대 트랜지스터 제조에 필요한 균일한 박막 성장과 증착 성능을 구현할 수 있다고 설명했다.

최근 인공지능(AI) 확산으로 반도체 산업이 초미세·고집적 구조 중심으로 재편되면서 기존 평면 구조 트랜지스터의 한계를 넘어서는 기술 경쟁이 본격화되고 있다.

업계에서는 누설 전류와 전력 소모 문제를 줄이기 위해 수직 적층형 트랜지스터(Vertical Channel Transistor) 구조 전환이 빨라지고 있다고 보고 있다.

주성엔지니어링은 이번 장비에 적용된 ALG 기술이 고(高)종횡비 구조에서도 균일한 박막 형성과 높은 수율 확보가 가능하다고 강조했다.

기존 원자층증착(ALD) 방식이 복잡한 구조에서 균일도 한계를 보였던 것과 달리, ALG는 원자가 스스로 결합하며 성장하는 방식으로 밀도와 안정성을 높였다는 설명이다.

주성엔지니어링은 기존 CVD(화학기상증착), ALD에 이어 ALG까지 확보하면서 차세대 반도체 공정 대응 기술 포트폴리오를 확대하고 있다. 회사는 해당 기술을 디스플레이·태양광 장비에도 확대 적용할 계획이다.

특히 북미·아시아·유럽·중동 지역 글로벌 기업들과 관련 협업을 진행 중인 것으로 알려졌다. 회사는 차세대 디스플레이와 신재생에너지 시장 확대 과정에서 ALG 기술 활용 범위가 더욱 넓어질 것으로 기대하고 있다.

주성엔지니어링 관계자는 "단순 장비 공급을 넘어 AI 시대 반도체 제조 기술의 새로운 기준을 제시하는 것이 목표"라며 "세계 최초 기술을 바탕으로 차세대 반도체·디스플레이·태양광 시장 공략을 이어갈 것"이라고 말했다.

업계에서는 AI 반도체 투자 확대와 함께 주성엔지니어링의 수주 기회도 늘어날 것으로 보고 있다.