SEMI, 자율형 팹 '예방정비 자동화' 백서 발간

[아이뉴스24 권서아 기자] 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 자율형 반도체 팹(공장) 구현을 위한 예방정비(PM) 자동화 전략을 담은 'PM 오토메이션 백서'를 지난 4일 발간했다.

5일 세미에 따르면, 백서는 자율형 팹 전환의 관건을 기술 고도화가 아닌 '상호운용성 표준 확립'으로 규정했다.

산업계 조사에서 표준화 필요성에 대한 공감대는 100%에 달했지만, 실제 현장 적용까지는 평균 8년 이상 격차가 있는 것으로 분석됐다.

지연 원인으로는 △로봇 개입을 고려하지 않은 장비 설계 △제조사별로 다른 데이터 사전(SVID) 체계 △로봇 친화적이지 않은 물류·패키징 구조 △PM과 예지정비(PdM) 간 이벤트 기반 연계 표준 부재 등이 제시됐다.

개별 기업의 기술력이 아니라 글로벌 차원의 표준 부재가 구조적 병목이라는 진단이다.

특히 부품 물류의 97% 이상이 로봇 친화적으로 설계되지 않아 자동화의 '마지막 구간(Last Mile)'이 수작업에 의존하고 있는 점을 핵심 한계로 짚었다.

백서는 자율형 팹 구현을 위한 8대 표준화 과제로 △로봇 대응 장비 디자인 △유니버설 로봇 인터페이스 △통합 데이터 사전 및 통신 프로토콜 △물류·패키징 규격 표준 △모듈화 설계 △청정·안전 기준 △이벤트 중심 PM–PdM 연계 구조 △디지털 트윈 기반 사전 검증 체계를 제안했다.

이번 백서는 한국반도체산업협회와 한국반도체연구조합 협력으로 작성됐다. SEMI는 관련 기술위원회와 워킹그룹을 통해 국제 표준 논의를 확대할 계획이다.