유진로봇, AW 2026서 '반도체 웨이퍼 이송 솔루션' 선보여

[아이뉴스24 설재윤 기자] 유진로봇은 오는 3월 4~6일 삼성동 코엑스에서 열리는 'AW 2026(스마트공장·자동화산업전)'에 참가한다고 27일 밝혔다.

유진로봇은 이번 전시회에서 '반도체 웨이퍼 이송 솔루션', 2톤급 고중량 AMR, 인공지능(AI) 기반 자동 검사 시스템 등을 시연할 예정이다.

'반도체 웨이퍼 이송 솔루션'은 옴니휠 기반 자율주행 플랫폼 '고카트 300 옴니(GoCart 300 Omni)'에 협동로봇을 결합한 AMMR 형태다. 8인치(200mm) SMIF POD(표준 밀폐 캐리어) 규격에 최적화된 설계와 mm 단위 위치 정렬 기술을 적용해, 초정밀도가 요구되는 반도체 공정 내 설비 인터페이스 대응력을 극대화했다.

시연에서는 전방향 주행 기능을 활용해 협소한 선반 구역에 정밀 진입한 뒤, 웨이퍼 캐리어를 안정적으로 픽업 및 안착시키는 고도화된 자동화 공정을 처음으로 공개한다. 이를 통해 반도체 공정 내 설비 간 자동 이송과 핸들링 안정성을 동시에 확보할 수 있음을 선보인다.

고중량 물류 현장의 생산성을 혁신할 커스텀 AMR 시연도 진행된다. 최대 2톤의 적재 용량을 갖춘 이 로봇은 초당 2m의 고속 주행이 가능하면서도 국제 안전 기준인 ISO 13482 PLd를 준수해 작업자와 협업이 가능하다. 전시장에서는 고중량 물품을 적재한 상태에서 장애물을 회피하며 주행하는 퍼포먼스를 선보인다.

협소 공간 진입에 특화된 옴니휠 기반 고카트 300 옴니를 활용한 품질 검사 자동화 시스템도 전시된다. 모바일 매니퓰레이터가 여러 각도에서 제품 표면 데이터를 수집하면, AI가 이를 분석해 실시간으로 불량 여부(OK/NG)를 판정한다. 이 시스템은 제조 현장의 검사 공정 효율을 높이고 데이터 기반의 객관적인 품질 관리를 가능하게 한다.

유진로봇 박성주 대표는 "이번 전시를 통해 최초 공개하는 반도체 공정용 AMR을 포함, 산업 현장의 메인 포인트를 해결할 최첨단 로봇 라인업을 집중 홍보할 것"이라며 "고객의 생산성과 안전성을 동시에 견인하는 글로벌 수준의 로봇화 플랫폼 솔루션을 선보일 것"이라고 말했다.

한편 유진로봇은 정부 주도의 K-휴머노이드 연합 사업에 참여해 제조 현장 특화형 휴머노이드 및 AI 기반 로봇 파운데이션 모델 구축을 추진하고 있다.