JSR마이크로코리아, 청주 오창 반도체 소재 공장 건설

[아이뉴스24 안영록 기자] JSR마이크로코리아㈜가 충북 청주시 오창과학산업단지 외국인투자구역에 반도체 첨단 EUV 레지스트 공장을 건설한다.

JSR마이크로코리아는 12일 신공장 건설현장에서 기공식을 가졌다.

이 자리에는 김영환 충북지사와 이범석 청주시장을 비롯해 이이지마 타카히로 JSR마이크로코리아 대표이사 등이 참석했다.

신공장은 차세대 반도체 소재 생산 공장으로, 2000㎡ 규모로 짓는다. 오는 2026년 상반기 준공이 목표다.

JSR마이크로코리아는 신공장이 완성되면 제품생산 공정에 차세대 극자외선(EUV) 포토레지스트 MOR 기술을 적용해 금속산화물레지스트(MOR‧Metal Oxide Resist) 포토레지스트를 생산할 계획이다.

MOR 포토레지스트는 반도체 제조기술 중 하나인 노광공정(포토리소그래피)에 사용되는 재료다.

메모리와 로직반도체 등 고밀도‧고성능 칩 제조에 필수 소재여서 일본과 미국에서도 각광받을 전망이다.

2003년 오창 외국인투자지역 1호 입점기업인 JSR마이크로코리아는 디스플레이 소재 분야에서 세계적인 기술력을 인정받고 있다.