[르포] "아시아지역 첫 R&D 센터"…램리서치 용인·동탄 캠퍼스 가보니

[아이뉴스24 권용삼 기자] 지난 28일 서울에서 차로 약 1시간을 달려 도착한 경기도 용인시 지곡 산업단지의 램리서치 코리아테크놀로지(KTC) 센터. 약 3만㎡ 규모의 웅장한 센터는 이른 아침임에도 불구하고 거친 기계음과 함께 캠퍼스 확장을 위한 준비로 분주했다.

현재 램리서치코리아는 오는 2024년 7월까지 동탄에 있는 '테크니컬 트레이닝 센터(KLTC)'와 판교 '한국 본사'를 모두 용인 캠퍼스로 옮긴다. 증축 중인 사무동으로 이전을 모두 완료하면 램리서치는 제조 공장을 비롯 물류센터, 마케팅·세일즈 오피스, 고객지원센터, 트레이닝·R&D 센터까지 모든 주요 사업부문을 용인 반도체 클러스터 내에서 운영하는 최초의 글로벌 반도체 장비업체가 된다.

박상욱 전무는 이날 프레젠테이션(PT)를 통해 "램리서치 내에서 삼성전자나 SK하이닉스의 중국 사업장에 관련된 매출을 한국쪽으로 인식하게 되면 사실상 한국이 글로벌 매출 비중 1위를 차지한다"며 "한국의 전략적인 위상이 높아짐에 따라 R&D 투자를 비롯해 트레이닝 센터를 오픈해 반도체 장비와 공정에 대한 교육을 실시하고 있다"고 설명했다.

'클린룸 투어'를 위해 이정밀하고 민감한 반도체 장비들을 보호하기 위해 머리부터 발끝까지 하얀 방호복과 장갑, 보안경, 마스크를 착용했다. 특히 투어 중 중요 내용을 메모하기 위해 먼지가 날리지 않는 특수 용지로 제작된 노트를 준비했다.

클린룸 안 반도체 식각 공정 장비 '키요(Kiyo)'가 먼저 눈에 들어왔다. 이 장비는 육각형 모양의 플랫폼을 가지고 있어 6개의 챔버를 장착할 수 있다. 챔버 내부에서 플라즈마 밀도를 직접 조절할 수 있어 빠른 대응이 가능하다.

키요 옆에는 최신 식각 장비인 '센스 아이(Sense, i)'가 있다. 이 장비는 기존 '키요' 장비와 달리 직선 구조로 챔버를 배치할 수 있어 공간 로스(손실)없이 효율적으로 사용할 수 있다.

이수민 램리서치코리아 엔지니어는 "'센스 아이' 장비의 경우 콤팩트한 사이즈로 기존 장비 대비 70% 이상의 공간 효율성을 자랑한다"며 "인텔리전스 기술도 탑재돼 자율 캘리브레이션과 유지보수 기능들을 지원한다"고 설명했다. 이어 "용인 센터 내에는 반도체 6대의 식각 공정 장비를 비롯해 6대의 증착 공정 장비와 다수의 계측 장비들이 배치돼 있다"며 "파트너사들과 발표 전인 장비들도 각 월(Wall)에서 허가된 인원들만 출입하며 장비를 테스트 중"이라고 덧붙였다.

'클린룸 투어'를 마치고 이동한 동탄 램리서치코리아 테크니컬 트레이닝 센터. 2018년 문을 연 이 센터는 고객들과 엔지니어들의 기술 능력 강화를 위해 설립됐다. 이 곳에서 식각장비 5종와 증착장비 7종 등 총 12종 장비에 대한 교육 프로그램을 운영해 약 5년 동안 식각·증착 공정 전문가 3000여명 이상을 배출하는 성과를 거뒀다.

김민수 램리서치코리아 교육 담당자는 "센터 설립 이전에는 신규 장비 도입시 교육을 받기 위해 미국 본사로 장거리 출장을 가야만 하는 불편함이 존재했다"며 "한국에서 한국어로 교육을 진행하는 만큼 이동에 따른 비용과 의사소통의 제약이 크게 줄게 됐다"고 말했다.

이날 투어에서는 가상현실(VR)룸에서 직접 버추얼 실습을 체험할 수 있는 기회가 취재진에게 주어졌다. VR 장비를 착용하고 마치 실물과 같은 반도체 장비들을 화면 속에서 조작하며 주어진 과제를 수행한 것. 실제로 보기 힘든 설비 안쪽 구조까지 살펴 보며 설계 등을 익힐 수 있는 기회가 됐다.

이상원 램리서치 한국 법인 총괄 대표는 "내년에는 IT업계에 많은 변화들이 있을 것으로 보인다"며 "램리서치코리아 역시 더 정교하고 더 작고 더 스마트한 칩의 생산을 가능하게 하는 장비와 공정을 만들어내기 위해 계속적인 투자로 한국 반도체 생태계 활성화에 노력할 것"이라고 강조했다. 이어 "용인 캠퍼스 이전을 계기로 한국 반도체 업계의 파트너들과의 더욱 강화된 협력을 통해 최선을 다하겠다"고 덧붙였다.