[특징주] 워트, 삼성 10조 반도체 장비 투자…국내 1위 환경 공정 부각

[아이뉴스24 고종민 기자] 워트가 강세다.

삼성전자가 내년부터 네덜란드 ASML의 ‘극자외선(EUV) 노광장비’를 대규모로 발주한다는 보도가 나온 가운데, 워트는 반도체 공정환경제어 시장점유율 국내 1위이며 EUV, HBM에 들어가는 공정 장비를 납품하고 있다.

15일 오전 9시11분 현재 워트는 전일 대비 6.07% 오른 1만310원에 거래중이다.

이날 한 매체의 보도에 따르면 삼성전자는 EUV 노광장비를 내년부터 5년간 총 50대를 늘릴 계획이다. 시장에 알려진 대당 가격을 감안하면 10조원 규모인 셈이다. EUV 노광장비의 도입은 차세대 초미세공정 투자를 지속한다는 것을 의미하며, 이에 따른 관련 반도체공정장비의 수요와도 연결된다.

2004년 설립된 워트는 반도체·디스플레이 생산설비 내 필수적으로 요구되는 공정환경제어 장비를 개발하고 생산하는 기업이다. 고객사는 SK하이닉스(2018년 1차 협력사 등록), 삼성전자(2020년 1차 협력사 등록) 등이다.

주요 제품은 초정밀 온습도 제어장비(THC)다. 워트는 설립 초기 일본 기업이 독과점 해왔던 반도체 설비에 대한 국산화를 추진해왔다. 현재 초정밀 온습도 제어장비 THC를 비롯해 항온기 장치 TCU, 미세파티클제어장치 FFU, 청정모듈 CM 등을 양산하고 있다.

워트의 주력 제품인 THC는 반도체 노광(Photo,포토) 공정에서 온도, 습도 및 온수를 적절하게 조절해 365일 고도환경제어상태를 유지한다. 고객사가 요구하는 기준 대비 엄격한 제어가 가능하고 업계 최초 저비용 에너지 절감 기술 상용화에 성공해 전력 사용 감축을 통한 기술적 진입장벽을 구축했다. 특히 EUV 노광설비용 칠러를 개발하는 등 차세대 공정 장비로 대응도 진행 중이다.

또한 THC는 전공정에 이어 HBM 같은 후공정 영역에서도 필요성이 커지고 있다. 대표적으로 HBM은 각 D램 다이를 연결하기 위해 TSV(실리콘관통전극)를 형성해주는데, 이 TSV 공정에 트랙장비와 THC가 한 쌍씩 들어간다.

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