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LG디스플레이, 불화수소 국산화 성공…생산공정 적용 예정


한 국내업체 제품 사용

[아이뉴스24 윤선훈 기자] LG디스플레이가 반도체·디스플레이 공정에 필수적으로 사용되는 소재인 불화수소 국산화에 성공한 것으로 알려졌다.

2일 업계에 따르면 LG디스플레이는 국산 고순도 불화수소 안정성 테스트 과정을 마무리짓고 이달 중 생산공정에 적용할 예정이다. 한 국내업체의 제품을 사용하는 것으로 알려졌다.

불화수소는 반도체·디스플레이 공정에서 패널이나 회로를 식각하거나 표면 세정에 사용된다. 포토레지스트, 플루오린 폴리이미드와 함께 일본 정부가 수출 규제를 강화한 3대 품목 중 하나이다.

국내 소재업체가 공급하는 고순도 불화수소는 일정 수준 이상 품질이 확보된 것으로 전해졌다. 디스플레이 생산 공정은 반도체처럼 나노 수준은 아니어서, '99.9999999999'(트웰브 나인)'급의 초고순도 불화수소 사용량은 많지 않다.

윤선훈 기자 krel@inews24.com

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