JSR, 청주 오창 차세대 반도체 소재 생산공장 준공

[아이뉴스24 이용민 기자] 충북 청주 오창에 차세대 반도체 소재인 금속산화물레지스트(MOR) 생산 거점이 들어섰다.

일본계 외국인투자기업인 JSR마이크로코리아㈜는 30일 오창 외국인투자지역에서 차세대 반도체 소재 생산공장 준공식을 가졌다.

이 자리에는 신용한 충북도지사, 신병대 청주부시장, 호리 테츠로 JSR 대표, 이이지마 타카히로 JSR마이크로코리아 대표 등 주요 관계자들이 참석했다.

JSR마이크로코리아는 지난 2003년 오창에 설립된 일본 JSR의 한국법인이다. 디스플레이 소재 분야에서 사업을 이어오고 있으며, 이번 공장 신설로 반도체 차세대 EUV용 포토레지스트인 금속산화물레지스트(MOR)의 국내 생산 체계를 구축하게 됐다.

MOR은 EUV(극자외선) 노광공정에서 웨이퍼에 미세한 회로 패턴을 형성하는 데 사용되는 차세대 포토레지스트 소재​로, 기존 소재 대비 높은 EUV 흡수 특성 등을 바탕으로 반도체 초미세화에 대응하기 위한 핵심 소재로 주목받고 있다.

특히 이번 공장은 JSR이 세계 최초로 구축하는 EUV용 MOR 생산거점이란 점에서 주목받는다.

JSR은 이번 생산거점 구축으로 국내 주요 고객사의 수요에 신속히 대응하고, 현지 생산 및 품질보증 역량을 강화한다는 계획이다.

신용한 충북지사는 준공식에서 “충북이 글로벌 반도체 소재 공급망의 전략 거점으로 자리매김하는 또 하나의 이정표”라며 “충북과 함께해 온 JSR마이크로코리아가 이곳을 기반으로 세계적인 반도체 소재 기업으로 더욱 성장하고, 대한민국 반도체 산업의 새로운 미래를 밝혀 나가기를 기대한다”고 말했다.

충북은 SK하이닉스 등 반도체 제조기업과 소재·부품·장비 기업이 집적된 국내 대표 반도체 산업 거점으로, 이번 JSR마이크로코리아의 차세대 반도체 소재 생산공장 준공으로 반도체 초미세공정 핵심소재 공급망 경쟁력을 더욱 강화할 수 있을 것으로 기대된다.