NEC와 히타치 제작소 등 일본 반도체 업체들이 공동으로 설립한 연구 개발 회사 반도체 첨단 테크놀로지(Selete)가 츠꾸바 시 등에 차세대 반도체 연구 시작 라인 3개를 설치, 본격적으로 차세대 반도체 개발에 나섰다.
6일 니혼게이자이신문 보도에 따르면 세리트는 280억엔을 투입, 3개 거점에 시작라인을 구축하고 반도체 미세가공에 필요한 노고아기술 및 배선기술 연구 개발에 나선다.
시작라인은 츠꾸바시에 2개소가, 다른 지역에 1개소가 건설된다.
츠꾸바시는 독립 행정 법인인 산업기술종합연구소가 내년 4월에 설치하게 되는 클린 룸과 NEC의 연구소 시설 등을 이용해 시작라인을 구축한다.
이들 시작라인은 직경 300mm 차세대 웨이퍼를 가공할 수 있는 최첨단 설비로 구축된다.
/백병규 객원기자 bkb21@hananet.net