어플라이드, AI 기반 반도체 검사 시스템으로 시장 공략 속도

[아이뉴스24 민혜정 기자] 반도체 장비 업체 어플라이드 머티어리얼즈가 빅데이터·인공지능(AI) 기반의 반도체 검사 시스템으로 시장 공략에 속도를 낸다.

어플라이드는 20일 온라인 간담회을 열고 반도체 결함을 검출·분류하는 새로운 시스템을 공개했다.

이 시스템은 ▲'인라이트(Enlight)' 광학 웨이퍼 검사 시스템 ▲'익스트랙트AI(ExtractAI)' 기술 ▲'SEM비전(SEMVision)' 전자빔 리뷰 시스템 세 가지 요소로 구성된다.

인라이트에서 추출된 빅데이터가 SEM비전으로 가면, SEM비전에 적용된 익스트랙트AI가 반도체 결합을 검출·분류하는 형태다.

5년간의 개발 기간을 거친 인라이트 광학 웨이퍼 검사 시스템은 업계 최고 수준의 고해상도·고속 검사 기술을 결합한 장비라는 게 회사 측 설명이다. 첨단 광학 기술을 통해 스캔당 더 많은 데이터를 수집하고, 경쟁사에 비해 치명적인 결함을 포착하는 데 투입되는 비용을 3배 절감할 수 있다.

반도체 제조사는 인라이트 시스템을 통해 비용 부분을 개선해 공정 중에 더 많은 검사 스텝(step)을 넣을 수 있고, 시스템에서 얻어진 빅데이터로 수율 저하 요소를 빨리 예측할 수 있다

익스트랙트AI 기술은 인라이트 검사 장비에서 전달된 데이터들을 0.001% 수준으로 리뷰만해도 반도체 결함을 추출해낼 수 있는 기술이다.

SEM비전 전자빔 리뷰 시스템은 전자빔 검사 장비로 AI(익스트랙트AI)가 적용된 게 특징이다.

어플라이드는 반도체 공정이 복잡해지고 결함 검출이 어려워지면서 검사 과정에서도 빅데이터, AI의 활용이 중요해졌다고 강조했다.

광학적 장비에만 의존한 결함 검사는 미세한 입자조차도 수율에 치명적 결함을 초래하는 현 상황에는 적합치 않다는 설명이다.

이석우 어플라이드 머티어리얼즈 코리아 전무는 "반도체 칩의 복잡성이 증가하고 결함 검출이 더욱 어려워지면서 업계는 더 많은 검사를 수행해야 한다"며 "이같은 상황에서 AI는 소프트웨어적으로 반도체 공정을 개선하는 데 도움을 줄 수 있다"고 말했다.

키스 웰스 어플라이드 머티어리얼즈 이미징 프로세스 컨트롤 제품군 부사장은 "어플라이드는 공정 제어를 위해 빅데이터와 AI를 결합한 스마트하고 적응력이 뛰어난 솔루션을 제공한다"며 "이 솔루션은 고객이 시간을 단축해 최대 수율을 달성하도록 지원한다"고 강조했다.

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