삼성전자, 美 EUV 포토레지스트 업체 '인프리아' 투자

[아이뉴스24 윤선훈 기자] 삼성전자가 반도체 EUV(극자외선)용 포토레지스트(감광액) 개발 전문 스타트업인 미국 인프리아에 추가 투자했다.

인프리아는 삼성전자 투자 자회사인 삼성벤처투자 등으로부터 시리즈C 펀딩으로 3천300만달러(한화 약 399억원) 규모를 투자받았다고 20일(현지시간) 밝혔다. 이번 투자에는 삼성전자를 비롯해 SK하이닉스, 대만 TSMC, 일본 JSR 등도 참여했다.

삼성전자와 JSR은 기존에도 인프리아에 투자했고 SK하이닉스와 TSMC는 신규 투자자다. 삼성전자는 앞서 인프리아에 2014년, 2017년 두 차례 투자한 바 있다. 이번이 세 번째 투자다.

인프리아는 금속 산화물을 활용해 포토레지스트를 만들어 기존 일본 업체들이 생산하는 방식보다 빛을 받아들이는 흡수율을 4배 이상 높인 것으로 알려졌다. 빛 흡수가 많을수록 미세한 회로 패턴을 새기는 데 유리하다. 이는 최근 반도체 업계의 화두인 초미세공정 구현에 필수적이다.

기존 EUV용 포토레지스트는 JSR, 신에츠화학, 도쿄오카공업(TOK) 등 일본 업체들이 독점해 왔다. 삼성전자 역시 EUV용 포토레지스트를 주로 일본 업체를 통해 공급받았다. 이 때문에 지난해 7월 발효된 일본 수출규제 품목에 EUV용 포토레지스트가 포함되자 삼성전자의 EUV 공정 도입에 차질이 빚어질 것이라는 우려가 나오기도 했다. 인프리아에 대한 투자는 향후 EUV용 포토레지스트에 대한 일본 의존도를 낮추려는 시도로 풀이된다.

안드류 그랜빌 인프리아 부사장은 "이 같은 투자자들의 참여는 반도체 산업에서 인프리아의 전략적 중요성을 나타내는 지표로 작용한다고 생각한다"고 말했다. 실제로 현재 EUV 라인을 구축한 유이한 업체인 삼성전자와 TSMC가 나란히 인프리아에 투자했다. 두 업체는 현재 파운드리(반도체 위탁생산) 시장 1, 2위를 다투고 있는 업체이기도 하다. TSMC가 1위, 삼성전자가 2위다.

앞서 지난 20일 이재용 삼성전자 부회장은 이번 달 본격 가동을 시작한 경기 화성의 EUV 전용 반도체 라인인 'V1'을 직접 찾아 시스템반도체 육성에 대한 의지를 강력하게 나타낸 바 있다.

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